潔凈室屬于凈化工程的范圍，通過設(shè)備和設(shè)施對某些特定空間進(jìn)行：溫度、濕度、風(fēng)量、壓差、潔凈度、沉降菌、浮游菌等項(xiàng)目的調(diào)整控制，使其滿足一定的標(biāo)準(zhǔn)的工程 .如樓主的潔凈室有前敘要求即為凈化工程。

凈化工程在規(guī)定的空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，凈化工程但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院�，對產(chǎn)品將有污染，凈化工程特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不要超出25度。

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